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聚焦离子/电子双束扫描电镜 (FIB)

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设备状态:开放预约中 预约设备
基本信息
设备名称: 聚焦离子/电子双束扫描电镜 (FIB)
生产国家: 捷克
型       号: Helios 600i
放置地点: 曲江西六楼
所在机组: 国际电介质研究中心
机组成员:
代艳竹
电话:029-83395023
邮箱: daiyanzhu@mail.xjtu.edu.cn
米少波
电话:
邮箱: sbmi@imr.ac.cn
路璐
电话:
邮箱: daisylu@mail.xjtu.edu.cn
分类信息

使用类型:

使用用途:

实验领域

结合场发射扫描电子束和聚焦离子束,对样品进行纳米尺度超高分辨率的磨削、成像及分析,并用于高质量透射电镜样品的制备。